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基础信息Product information
产品名称:

机电薄膜e31测试仪

产品型号:

厂商性质:生产厂家

所在地:北京市

更新日期:2020-12-21

产品概况:

机电薄膜e31测试仪可用aix4PB系统测试。薄膜材料的机电性能是MEMS器件设计的关键性能,纵向压电系数d33和横向压电系数e31被用于表征传感器和实行器的这些关键性能。

产品特性Product characteristics

薄膜材料的机电性能是MEMS器件设计的关键性能,纵向压电系数d33和横向压电系数e31被用于表征传感器和实行器的这些关键性能。
纵向压电系数可由aixDBLI测试,而横向压电系数e31就可用aix4PB系统测试。
通过必要夹具,可以测得正向e31和逆向e31。

标准的aix4PB系统主要由以下部分组成:四点弯曲样品夹具、TF Analyzer 2000、单光束激光测振仪。

可以进行如下测试功能:
全部铁电性能表征,基于TF2000系统,包括极化、电容、漏电流、疲劳测试。
有效横向压电系数的测量通过交替均匀机械力施加于样品,并测试产生的电荷。
所有的测量数据也可以在附加的压缩或拉伸静态负载下进行,这也覆盖了整个压电薄膜在整个MEMS器件中的行程。

特点/规格:
四点弯曲样品夹具:
产生力的压电实行器
激光测振仪夹具
很容易接触到顶部和底部的样品电极
所有的TF2000系统的测试功能 
远程接入和脚本控制的可选件
单光束激光干涉仪,最小分辨率1nm

App:
Windows 7 操作系统
通过GPIB或以太网的远程接入和脚本控制
通过ODBC接口的数据库连接
测试数据通过ASCII形式输出
测试数据交换通过aixPlorerApp或Resonance Analyzer

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